TY - BOOK
AU - Linner, Britta
TI - Parameterstudien zur Synthese von Siliciumnitrid-Filamenten durch eisenkatalysierte chemische Gasphasenabscheidung
KW - Hochschulschrift
KW - Siliciumnitrid
KW - Chemische Synthese
KW - CVD-Verfahren
KW - Eisen
KW - Katalysator
KW - Prozessentwicklung Technik
KW - Keramikfaser
KW - Siliciumnitridkeramik
PY - 1997
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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