TY -
BOOK
AU - Borgwardt, Christian
TI -
Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik
PB - VDI-Verl.
SN - 3181463086
KW - Hochschulschrift
KW - Feuchtigkeitssensor
KW - Kapazitiver Sensor
KW - Dünnschichtsensor
KW - Tantal
KW - Feuchtigkeitsmessung
KW - Mikrosensor
PY - 1988
BT - Fortschritt-Berichte / VDI ; Reihe 8, Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; Nr. 163
CY - Düsseldorf
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -