TY -
BOOK
AU - Vierhaus, Heinrich Theodor
TI -
Ein Beitrag zur Simulation der Elektronenstreuung und zur Kompensation des Proximity-Effekts in der Elektronenstrahl-Lithographie
KW - Hochschulschrift
PY - 1983
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -