TY - BOOK
AU - Amjadi, Houman
TI - Untersuchungen zur Einsatzfähigkeit anorganischer Dielektrika als Elektretschicht in mikromechanischen Wandlern
ET - Als Ms. gedr.
PB - Shaker
SN - 3826561430
KW - Hochschulschrift
KW - Elektroakustischer Wandler
KW - Elektret
KW - Dünne Schicht
KW - Siliciumnitrid
KW - Siliciumdioxid
KW - Siliciumoxinitride
PY - 1999
BT - Berichte aus der Mikromechanik
CY - Aachen
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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