TY - BOOK
AU - Technische Universität Chemnitz
AU - Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 6 2003 Chemnitz
AU - Dötzel, Wolfram
TI - Mikrosystemtechnik Chemnitz '03 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003
PB - Techn. Univ.
SN - 3000116559
KW - Konferenzschrift 2003 Chemnitz
KW - Mikromechanik
KW - Mikroelektronik
KW - Mikrosystemtechnik
PY - 2003
CY - Chemnitz
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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