TY -
BOOK
AU - Technische Universität Chemnitz
AU - Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 6 2003 Chemnitz
AU - Dötzel, Wolfram
TI -
Mikrosystemtechnik Chemnitz '03
6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003
PB - Techn. Univ.
SN - 3000116559
KW - Konferenzschrift 2003 Chemnitz
KW - Mikromechanik
KW - Mikroelektronik
KW - Mikrosystemtechnik
PY - 2003
CY - Chemnitz
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -