TY -
BOOK
AU - Jackson, Mark J.
TI -
Microfabrication and nanomanufacturing
PB - Taylor & Francis
SN - 0824724313
SN - 9780824724313
KW - Mikrosystemtechnik
KW - Fertigungstechnik
PY - 2005
N2 - Includes index
CY - Boca Raton, Fla.[u..]
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -