TY -
GEN
AU - Haubold, Marco
TI -
Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses
PB - Universitätsverlag Chemnitz
KW - Vibrationssensor
KW - Mikroschweißen
KW - Hochschulschrift
KW - Fertigung
KW - Wafer
KW - Silicium
PY - 2016
CY - Chemnitz
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -