TY - GEN

AU - Laser-Based Micro- and Nanoprocessing Veranstaltung 2016 San Francisco, Calif

AU - SPIE

AU - Klotzbach, Udo

AU - Washio, Kunihiko

AU - Arnold, Craig B.

TI - Laser-Based Micro- and Nanoprocessing X 16-18 February 2016, San Francisco, California, United States

PB - SPIE

KW - Konferenzschrift

PY - [2016]

N2 - Literaturangaben

N2 - Teilkonferenz von: SPIE Photonics West (innerhalb der Teil-Konferenz: SPIE LASE)

BT - Proceedings of SPIE ; volume 9736

CY - Bellingham, Washington

UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2

ER -