TY - GEN

AU - Applied Optical Metrology Veranstaltung 2023 San Diego, Calif

AU - SPIE

AU - Novak, Erik

AU - Wilcox, Christopher C.

TI - Applied Optical Metrology V 22-23 August 2023, San Diego, California, United States

PB - SPIE

SN - 9781510665590

KW - Konferenzschrift

KW - Optische Messtechnik

PY - [2023]

N2 - Teilkonferenz von SPIE Optical Engineering + Applications 2023 im Rahmen von SPIE Optics + Photonics 2023

N2 - Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge

N2 - Literaturangaben

BT - Proceedings of SPIE ; volume 12672

CY - Bellingham, Washington, USA

UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2

ER -