TY - BOOK
AU - Hong, Ruijiang
TI - Transparent conductive ZnO:Al thin films prepared by in-line reactive mid-frequency magnetron sputtering
PB - Fraunhofer-IRB-Verl.
SN - 3816766250
KW - Forschungsbericht
KW - Hochschulschrift
KW - Transparent-leitendes Oxid
KW - Zinkoxid
KW - Dotierung
KW - Aluminium
KW - Magnetronsputtern
KW - Schichtwachstum
PY - 2004
BT - Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik ; Nr. 21
CY - Stuttgart
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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