TY - GEN
TI - Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik = Recent developments in MEMS
PB - Shaker Verlag
PB - : Shaker
SN - 1862-5711
KW - Monografische Reihe
PY - 2006-
PY - , früher
CY - Düren
CY - ; Aachen
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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