TY -
BOOK
AU - Mäder, Gerrit
TI -
Atmosphärendruck-Plasma-Beschichtungsreaktoren
PB - Fraunhofer-IRB-Verl.
SN - 9783816776567
KW - Hochschulschrift
KW - PECVD-Verfahren
KW - Luftdruck
KW - Chemischer Reaktor
KW - Geräteentwicklung
KW - Beschichtung
KW - Plasma
KW - CVD-Verfahren
PY - 2008
CY - Stuttgart
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -