TY - BOOK
AU - Wagner, Alexander
AU - Bakin, Andrey
AU - Kowalsky, Wolfgang
TI - Gasphasenabscheidung zur Herstellung von Halbleiterstrukturen auf der Basis oxidischer Kupferverbindungen
ET - 1. Auflage
PB - Verlag Dr. Hut
SN - 3843931623
SN - 9783843931625
KW - Hochschulschrift
KW - Halbleiterwerkstoff
KW - Kupferoxid Kupfer(I)oxid
KW - Beschichtung
KW - CVD-Verfahren
KW - PVD-Verfahren
PY - 2017
N2 - Literaturverzeichnis: Seite 115-129
BT - Elektrotechnik
CY - München
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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