TY - GEN
AU - Esser, G.
AU - Goetz, Martin
AU - Neuhaus, Manfred
AU - Scherer, Theo
AU - Jutzi, Wilhelm
TI - Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
KW - DATA processing & computer science
PY - 2008-01-16
N2 - Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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