TY - GEN
AU - Bär, Markus
AU - Henn, Mark-Alexander
AU - Gross, Hermann
AU - Rathsfeld, Andreas
AU - Heidenreich, Sebastian
TI - Modeling of line roughness and its impact on the diffraction intensities and the reconstructed critical dimensions in scatterometry
KW - article
KW - diffraction gratings -- metrology
PY - 2012
N2 - Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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