TY -
GEN
AU - Dudek, Piotr
AU - Schmeisser, Dieter
TI -
Atomic scale engineering of HfO2–based dielectrics for future DRAM applications
PB - Universitätsbibliothek der BTU Cottbus
KW - Mikroelektronik ; Miniaturisierung ; Dielektrikum ; Elektrode ; Metall
KW - Hochschulschrift
PY - 2011
CY - Cottbus
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -