TY -
GEN
AU - Junghähnel, Manuela
AU - Rädlein, Edda
AU - Schaaf, Peter
AU - Strümpfel, Johannes
TI -
Herstellung und Charakterisierung von transparenten elektrisch leitfähigen TiO2:Nb- Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern
PB - Universitätsbibliothek Ilmenau
KW - Titandioxid
KW - Transparent-leitendes Oxid
KW - Niob
KW - Dünne Schicht
KW - Magnetronsputtern
KW - Titanoxid
KW - Transparente leitfähige Oxide(TCO)
KW - Transparente Elektrode
KW - Dotierung
KW - Puls-Magnetron-Sputtern (PMS)
KW - Großflächenbeschichtung
KW - Punktdefekte
KW - (DNB-Sachgruppen)620
KW - Hochschulschrift
PY - 2012
CY - Ilmenau
ER -