TY -
GEN
AU - Kördel, Martin
AU - Lerch, Reinhard
TI -
Berührungslose ortsauflösende Inspektion planarer Elektronik auf Grundlage kapazitiver Kopplung
PB - Universitätsbibliothek der Universität Erlangen-Nürnberg
KW - Sensorsystem ; Kapazitiver Sensor ; Bilderzeugung ; Berührungslose Messung ; Inspektion ; Finite-Elemente-Methode ; Systementwicklung ; Fehlererkennun
KW - kapazitive Kopplung
KW - planare Elektronik
KW - Inspektionssystem
KW - Defektinspektion
KW - Funktionsinspektion capacitive coupling
KW - planar electronic devices
KW - inspection system
KW - defect inspection
KW - functional inspection
KW - Hochschulschrift
PY - 2013
CY - Erlangen
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -