TY -
GEN
AU - Hochschulz, Frank
AU - Vogt, Holger
AU - Tegude, Franz-Josef
TI -
CMOS-Back-End-of-Line-Prozesse für optische Bauelemente
PB - Universitätsbibliothek Duisburg-Essen
KW - Electrical
KW - CMOS
KW - BEOL
KW - Photodetektoren
KW - Photodioden
KW - Interferenz
KW - Back-End-of-Line
KW - etaloning
KW - UV
KW - EUV
KW - XUV
KW - Empfindlichkeitsschwankung
KW - QE-Schwankung
KW - photodetector
KW - photodiode
KW - interference
KW - Hochschulschrift
PY - 2013
CY - Duisburg
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -