TY -
GEN
AU - Jauernig, Uta
AU - Sinzinger, Stefan
AU - Bartelt, Hartmut
AU - Bliedtner, Jens
TI -
Herstellung funktioneller Dünnschichtelemente auf den Stirnflächen von Lichtleitfasern mittels hochauflösender lithografischer Strukturierungsverfahren
PB - Universitätsbibliothek Ilmenau
KW - Lichtleitfaser
KW - Dünnschichttechnik
KW - Diffraktives optisches Element
KW - Lithografie
KW - Photoresist
KW - Chalkogenidglas
KW - Wafer
KW - Halbleitertechnologie
KW - Interferenzlithografie
KW - Herstellung
KW - Fläche
KW - Strukturierung
KW - Dünne Schicht
KW - Wellenleiter
KW - Maske
KW - Lichtleitfaser / Dünnschichttechnik / Lithographie/ Halbleitertechnologie
KW - (DNB-Sachgruppen)600
KW - Hochschulschrift
KW - Lithografie Halbleitertechnologie
PY - 2012
CY - Ilmenau
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -