TY -
GEN
AU - Kim, Hyun-Su
AU - Juschkin, Larissa
AU - Taubner, Thomas Günter
TI -
Interference lithography with extreme ultraviolet light
PB - Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
PY - 2016
CY - Aachen
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -