TY -
GEN
AU - Forke, Roman
AU - Mehner, Jan
AU - Mehner, Jan
AU - Hoffmann, Martin
TI -
Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen
PB - Universitätsbibliothek Chemnitz
KW - Vibrationssensor
KW - Resonator
KW - Masse-Feder-System
KW - Aktor
KW - Array
KW - MEMS
KW - Maschinenschwingung
KW - Niederfrequenz
KW - Zustandsüberwachung
KW - Dämpfung
KW - Charakterisierung
KW - Mikrotechnologie
KW - elektromechanische Modulation
KW - kraftgekoppelte Schwinger
KW - resonante Schwingungsdetektion
KW - Breitbandschwinger
KW - frequenzselektiv
KW - kapazitiv
KW - BDRIE
KW - Systemsimulation
KW - mechanischer Spektrumanalyzer
KW - microtechnology
KW - condition monitoring
KW - electro mechanical modulation
KW - force coupled oscillator
KW - resonant vibration detection
KW - resonator
KW - wideband
KW - damping
KW - capacitive detection
KW - BDRlE technology
KW - vibration sensor
KW - wafer level test
KW - system simulation
KW - mechanical spectrum analyzer
KW - Hochschulschrift
PY - 2013
CY - Chemnitz
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -