TY -
GEN
AU - Leszczyńska, Barbara
AU - Bartha, Johann Wolfgang
AU - Schrader, Sigurd
TI -
Herstellung von Einzelschichten und Solarzellen im Bereich der sehr hohen Plasmaanregungsfrequenzen (VHF) und Schichtdiagnostik
PB - Technische Universität Dresden
KW - Solarzelle
KW - VHF
KW - PECVD
KW - amorph
KW - mikrokristallin
KW - Silizium
KW - amorphous
KW - microcrystalline
KW - silicon
KW - Hochschulschrift
PY - 2020
CY - Dresden
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -