TY -
GEN
AU - Janek, Florian
AU - Zimmermann, André
TI -
Entwicklung einer Prozesskette für den Aufbau individualisierter Foliensysteme
PB - Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
KW - Dünne Schicht
KW - Chip
KW - Prozesskette
KW - Silicium
KW - Wafer
KW - Montage
KW - Elektrische Leitfähigkeit
PY - 2022
CY - Stuttgart
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -