TY - GEN
AU - Leone, Stefano
AU - Ligl, Jana
AU - Manz, Christian
AU - Kirste, Lutz
AU - Fuchs, Theodor
AU - Menner, Hanspeter
AU - Prescher, Mario
AU - Wiegert, Joachim
AU - Žukauskaitė, Agnė
AU - Quay, Ruediger
AU - Ambacher, Oliver
TI - Metal‐Organic Chemical Vapor Deposition of Aluminum Scandium Nitride
PB - Wiley
SN - 1862-6270
SN - 1862-6254
PY - 2020
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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