TY -
GEN
AU - Pomplun, Jan
AU - Burger, Sven
AU - Schmidt, Frank
AU - Scholze, Frank
AU - Laubis, Christian
AU - Dersch, Uwe
TI -
Finite element analysis of EUV lithography
PB - SPIE
SN - 0277-786X
PY - 2007
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -