TY - GEN

AU - Elssner, Karl-Edmund

AU - Burow, Regina

AU - Schulz, Guenter

AU - Vogel, Andreas

TI - Absolute interferometric surface testing: a stringent need

PB - SPIE

SN - 0277-786X

PY - 1993

UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2

ER -

Download citation