Awakowicz, Peter (7)
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Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (6)
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Viöl, Wolfgang (6)
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (4)
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Hochschule für angewandte Wissenschaft und Kunst Fakultät Ingenieurwissenschaften und Gesundheit (4)
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Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie (4)
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D'Agostino, Riccardo (3)
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Dzur, Birger (3)
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Herdrich, Georg (3)
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Rädler, Thomas (3)
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Setcor Conferences & Exhibitions (3)
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Blasek, Gerhard (2)
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Brinkmann, Ralf Peter (2)
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Broszeit, Erhard (2)
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Bräuer, Günter (2)
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Ecker, Günter (2)
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Endlich, Pia (2)
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Fahland, Matthias (2)
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Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (2)
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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (2)
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Heuermann, Holger (2)
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Hirth, Thomas (2)
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Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik (2)
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Kersten, Holger (2)
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Kopecki, Jochen (2)
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Leins, Martina (2)
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Lichtenberg, Allan J. (2)
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Lieberman, Michael A. (2)
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Maus-Friedrichs, Wolfgang (2)
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Merli, Stefan (2)
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Mertmann, Philipp (2)
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Moller, Björn P. (2)
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Ramisch, Evelyn Christine (2)
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Reichel, Karin (2)
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Sankaran, R. Mohan (2)
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Schaaf, Peter (2)
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Schein, Jochen (2)
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Schöpp, H. (2)
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Stroth, Ulrich (2)
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Technische Universität Clausthal (2)
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Unseld, Marina (2)
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Weber, Alfred P. (2)
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Weltmann, Klaus-Dieter (2)
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Al-Amayreh, Malik (1)
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Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Professur für Sensoren (1)
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Alexander, Karl F. (1)
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Altmannshofer, Stephan (1)
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Antweiler, Nicolai (1)
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Aravindalochanan, Kuppusamy (1)
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Avramidis, Georg (1)
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Bansemer, Robert (1)
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Barth, Stephan (1)
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Bartzsch, Hagen (1)
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Bauer, Michael (1)
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Baumgärtner, K.-M. (1)
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Bayer Material Science AG Leverkusen (1)
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Beck, Uwe (1)
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Becker, Markus M. (1)
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Becker, Reinhard (1)
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Bekeschus, Sander (1)
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Benkenstein, Andreas (1)
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Bergmann, Michael (1)
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Beyer, Eckhard (1)
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Birke, Peter (1)
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Bischof, C. (1)
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Boenig, Herman V. (1)
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Bosch, Lars ten (1)
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Bracht, Vera (1)
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Brand, Carola (1)
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Braun, Thomas (1)
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Briehl, Boris (1)
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Brinke, Thomas auf dem (1)
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Brückner, Stephan (1)
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Bucher, Volker (1)
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Bund, Andreas (1)
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Burkhardt, Claus J. (1)
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Böke, Marc (1)
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Carbotech Gas Systems GmbH (1)
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Cherkasova, N. (1)
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Cheung, Kin P. (1)
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Cordsen, Rainer (1)
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Cuomo, Jerome J. (1)
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Delgado, Antonio (1)
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Deutsch, Hans (1)
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Deutschland Bundesrepublik Bundesminister für Forschung und Technologie (1)
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Dincer, Can (1)
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Donko, Zoltan (1)
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Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH (1)
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Dr. Laure Plasmatechnologie GmbH (1)
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Drobot, Adam T. (1)
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Eberhard Karls Universität Tübingen Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut (1)
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Ehlbeck, Jörg (1)
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Eickenbusch, H. (1)
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Einspruch, Norman G. (1)
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Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (1)
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Electrochemical Society Electronics Division (1)
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Emmert, Steffen (1)
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Engelstädter, Jan Peter (1)
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Engemann, Jürgen (1)
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Engemann, Tim (1)
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