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  4. Behrisch, Rainer [HerausgeberIn]

    Sputtering by particle bombardment

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    Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1981-1991

    Erschienen in: Topics in applied physics ; .

  6. Oechsner, Hans [HerausgeberIn]; Etzkorn, H.-W [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Etzkorn, Heinz W. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Thin film and depth profile analysis

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    Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1984

    Erschienen in: Topics in current physics ; 37

  9. Dhez, Pierre [HerausgeberIn] ; Advanced Study Institute on Physics, Fabrication, and Applications of Multilayered Structures 1987 Bandol

    Physics, fabrication, and applications of multilayered structures : [proceedings of a NATO Advanced Study Institute on Physics, Fabrication, and Applications of Multilayered Structures, held June 22 - July 4, 1987 in Ile de Bendor, Bandol, France]

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    New York [u.a.]: Plenum Press, 1988

    Erschienen in: NATO: NATO ASI series / B ; 182

  10. Taglauer, Edmund [HerausgeberIn] ; International Workshop on Inelastic Ion Surface Collisions 3 1980 Feldkirchen-Westerham

    Inelastic particle-surface collisions : proceedings of the 3. Internat. Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions, Feldkirchen-Westerham, Fed. Rep. of Germany Sept. 17 - 19, 1980

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    Berlin [u.a.]: Springer, 1981

    Erschienen in: Springer series in chemical physics ; 17

  11. Rudolph, M. [VerfasserIn]; Brenning, N. [VerfasserIn]; Hajihoseini, H. [VerfasserIn]; Raadu, M.A. [VerfasserIn]; Minea, T.M. [VerfasserIn]; Anders, André [VerfasserIn]; Gudmundsson, J.T. [VerfasserIn]; Lundin, D. [VerfasserIn]

    Influence of the magnetic field on the discharge physics of a high power impulse magnetron sputtering discharge

    Aufsätze
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    Bristol : IOP Publishing, [2023]

  13. Güttler, D. [VerfasserIn]

    Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung

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    Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, [2010]

    Erschienen in: Wissenschaftlich-technische Berichte ; FZD-411

  17. Acsente, Tomy [VerfasserIn]; Bernard, E. [VerfasserIn]; Dinescu, Gheorghe [VerfasserIn]; Negrea, Raluca [VerfasserIn]; Matei, Elena [VerfasserIn]; Bita, Bogdan [VerfasserIn]; Gabriela Carpen, Lavinia [VerfasserIn]; Grisolia, Christian [VerfasserIn]

    Chapter Tungsten Nanoparticles Produced by Magnetron Sputtering Gas Aggregation: Process Characterization and Particle Properties

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    [Erscheinungsort nicht ermittelbar]: InTechOpen, 2020

  18. Acsente, Tomy [VerfasserIn] ; Bernard, E. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Dinescu, Gheorghe [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Negrea, Raluca [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Matei, Elena [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Bita, Bogdan [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Gabriela Carpen, Lavinia [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Grisolia, Christian [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Chapter Tungsten Nanoparticles Produced by Magnetron Sputtering Gas Aggregation : Process Characterization and Particle Properties

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    [Erscheinungsort nicht ermittelbar]: InTechOpen, 2020