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  1. Förster, Christian; Kosiba, Ratislav; Ecke, Gernot; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver; Pezoldt, Jörg

    Silicon Carbide and Related Materials 2005: Low Energy Ion Modification of 3C-SiC Surfaces

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    Trans Tech Publications Ltd., 2006

    Erschienen in: Silicon Carbide and Related Materials 2005

  2. Förster, Christian; Cimalla, Volker; Kosiba, Ratislav; Ecke, Gernot; Weih, Petia; Ambacher, Oliver; Pezoldt, Jörg

    Etching of SiC with Fluorine ECR Plasma

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    Trans Tech Publications, Ltd., 2004

    Erschienen in: Materials Science Forum