Haase, Micha
[Verfasser:in];
Ecke, Ramona
[Verfasser:in];
Gawlitza, Peter
[Verfasser:in];
Braun, Stefan
[Verfasser:in]
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme,
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie,
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik