VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik,
VDE/VDISocietyforMicroelectronics, Microsystem and PrecisionEngineering,
VDI Verein Deutscher Ingenieure e.V.,
VDI - The Association of German Engineers
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Düsseldorf: VDI-Verlag, 2021
Erschienen in:VDI-Richtlinien
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Düsseldorf: VDI-Verlag, 2021
Erschienen in:VDI-Richtlinien
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Düsseldorf: VDI-Verlag, 2019
Erschienen in:VDI-Richtlinien
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Düsseldorf: VDI-Verlag, 2016
Erschienen in:VDI-Richtlinien
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Düsseldorf: VDI-Verlag, 2016
Erschienen in:VDI-Richtlinien
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Düsseldorf: VDI-Verlag, 2007
Erschienen in:VDI-Richtlinien
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Düsseldorf: VDI-Verlag, 1998
Erschienen in:VDI-Richtlinien
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