Voit, Niko
[Verfasser:in];
Gorath, Moritz
[Verfasser:in];
Balk, Monika
[Verfasser:in];
Deppert, Oliver
[Verfasser:in];
Dünnbier, Mario
[Verfasser:in];
Hofmann, Jens
[Verfasser:in];
Schneider, Joachim
[Verfasser:in]
;
MUEGGE GmbH
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Reichelsheim: Muegge GmbH, 15.03.2021
Wiegers, Katharina
[Verfasser:in];
Kistner, Irina
[Verfasser:in];
Schulz, Andreas
[Verfasser:in];
Walker, Matthias
[Verfasser:in]
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Universität Stuttgart Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie