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  1. Akins, Vaughn E. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Symposium on Automated Integrated Circuits Manufacturing 5 1989 Hollywood, Fla, Electrochemical Society Electronics Division

    Proceedings of the Fifth Symposium on Automated Integrated Circuits Manufacturing

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    Pennington, NJ: Electrochemical Society, c1990

    Erschienen in: Electrochemical Society: Proceedings volume ; 19900300