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  1. Teutsch, Michael [Verfasser:in]

    Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

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    Karlsruhe: KIT Scientific Publishing, 2013

    Erschienen in: Karlsruher Institut für Technologie: Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien ; 24

  2. Haj-Taieb, Manel [Verfasser:in]; Aktaa, Jarir [Verfasser:in]; Bade, Klaus [Verfasser:in]

    Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials

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    2009

    Erschienen in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 7492