Schladitz, Katja
[Verfasser:in];
Höhn, Sören
[Verfasser:in];
Kübel, Christian
[Verfasser:in];
Thiele, Simon
[Verfasser:in];
Mücklich, Frank
[Verfasser:in]
;
Fraunhofer-Gesellschaft,
Karlsruher Institut für Technologie,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik,
Universität des Saarlandes Lehrstuhl für Funktionswerkstoffe