author = { Freiberger, Ralf Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen },

title = { Realisierung eines hochauflösenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlängen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen },

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keywords = { Hochschulschrift , Mikroskopie , Extremes Ultraviolett , Gasentladungsröhre , Plasma , Sauerstoff , Fresnel-Zonenplatte , CCD-Videokamera , Absorptionskante , Aluminium , Nanostruktur },

year = {2017},

abstract = {Literaturverzeichnis: Seite 171-183},

address = { Aachen },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }