author = { Guggenberger, Michael A. },

title = { Kinetische Untersuchungen zur katalysierten chemischen Gasphasenabscheidung von monokristallinen Siliciumnitrid-Filamenten },

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keywords = { Hochschulschrift , Siliciumnitrid , CVD-Verfahren , Reaktionskinetik },

year = {1996},

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