author = { Valiev, Kamilʹ A. Rakov, Aleksandr V. },

title = { Fizičeskie osnovy submikronnoj litografii v mikroėlektronike },

publisher = {Radio i Svjazʹ},

keywords = { Mikroelektronik , Ionenstrahlätzen , Ionenstrahlbearbeitung , Lithografie Halbleitertechnologie },

year = {1984},

abstract = {In kyrill. Schr., russ},

address = { Moskva },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }