author = { Pötschick, Pierre },

title = { Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten },

publisher = {TUDpress, Verl. der Wiss.},

isbn = {395908014X},

isbn = {9783959080149},

keywords = { Hochschulschrift , Silicium , Amorpher Halbleiter , Dünne Schicht , PECVD-Verfahren , Magnetronsputtern },

year = {2015},

booktitle = {Dresdner Beiträge zur Sensorik ; Bd. 57},

address = { Dresden },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }