author = { Plänitz, Philipp Technische Universität Chemnitz AND GWT-TUD GmbH Dresden },

title = { Ab initio Berechnung elektrischer Eigenschaften von Dielektrika für neuartige Gate-Isolator-Schichtsyteme zukünftiger MOSFETs },

publisher = {Verlag Wissenschaftliche Scripten},

isbn = {9783937524979},

keywords = { Forschungsbericht , Hochschulschrift , High-k-Dielektrikum , Elektronische Eigenschaft , Ab-initio-Rechnung , MOS-FET , Siliciumoxide , Dichtefunktionalformalismus , Amorpher Halbleiter , Gate Elektronik , Isolatorbauteil , Mehrschichtsystem },

year = {2010},

abstract = {Förderkennzeichen BMBF 01M3156},

booktitle = {Forschung für die Praxis ; Band 1},

address = { [Auerbach/Vogtland] },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }