author = { Technische Universität Chemnitz AND Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 6 2003 Chemnitz Dötzel, Wolfram },

title = { Mikrosystemtechnik Chemnitz '03 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003 },

publisher = {Techn. Univ.},

isbn = {3000116559},

keywords = { Konferenzschrift 2003 Chemnitz , Mikromechanik , Mikroelektronik , Mikrosystemtechnik },

year = {2003},

address = { Chemnitz },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }