author = { Grabosch, Günter },

title = { Herstellung und Charakterisierung von PECVD abgeschiedenem mikrokristallinem Silizium },

publisher = {},

keywords = { Hochschulschrift , Heterosolarzelle , Dünnschichtsolarzelle , Silicium , Mikrokristall , Wasserstoff , PECVD-Verfahren },

year = {2000},

address = { },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }