author = { Michel, Hans-Jürgen },

title = { Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen },

publisher = {KIT-Bibliothek},

keywords = { Hochschulschrift , Gassensor , Zinndioxid , Dünne Schicht , Magnetronsputtern , Elektrische Leitfähigkeit },

year = {[2017]},

booktitle = {Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe ; 5648},

address = { Karlsruhe },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }