author = { Novel Patterning Technologies Veranstaltung 2021 Online AND SPIE AND SPIE Panning, Eric M. },

title = { Novel Patterning Technologies 2021 22-26 February 2021, online only, Unites States },

publisher = {SPIE},

isbn = {9781510640542},

keywords = { Konferenzschrift },

year = {[2021]},

abstract = {Teilkonferenz von SPIE Advanced Lithography 2021},

abstract = {Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge},

abstract = {Literaturangaben},

booktitle = {Proceedings of SPIE ; volume 11610},

address = { Bellingham, Washington, USA },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }