author = { Henke, Thomas Technische Universität Dresden Bartha, Johann W. AND Strehle, Steffen },

title = { Untersuchungen zum Einsatz des ms-Blitzlampentemperns bei der Atomlagenabscheidung von dünnen Schichten und für die Rekristallisation von amorphem Silizium },

publisher = {},

keywords = { Hochschulschrift },

year = {[2020?]},

abstract = {Tag der Verteidigung: 11.12.2020},

address = { Dresden },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }