author = { Applied Optical Metrology Veranstaltung 2023 San Diego, Calif AND SPIE AND SPIE Novak, Erik AND Wilcox, Christopher C. },

title = { Applied Optical Metrology V 22-23 August 2023, San Diego, California, United States },

publisher = {SPIE},

isbn = {9781510665590},

keywords = { Konferenzschrift , Optische Messtechnik },

year = {[2023]},

abstract = {Teilkonferenz von SPIE Optical Engineering + Applications 2023 im Rahmen von SPIE Optics + Photonics 2023},

abstract = {Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge},

abstract = {Literaturangaben},

booktitle = {Proceedings of SPIE ; volume 12672},

address = { Bellingham, Washington, USA },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }