author = { Schulz, Alwin },

title = { Elektronenstrahlunterstütztes reaktives Sputtern von Titannitrid auf Schnellarbeitsstählen },

edition = { Als Ms. gedr. } ,

publisher = {VDI-Verlag},

isbn = {3181430056},

keywords = { Hochschulschrift , Titannitrid , Magnetronsputtern , Elektronenstrahlung , Schnellarbeitsstahl , Verschleißschutz },

year = {1993},

booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe ; 330},

address = { Düsseldorf },