@book
{TN_libero_mab2,
author = {
Mescheder, Ulrich
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title = {
Mikrosystemtechnik
Konzepte und Anwendungen ; mit 21 Tabellen
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publisher = {Teubner},
isbn = {3519062569},
keywords = {
Mikrosystemtechnik
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year = {2000},
abstract = {Literaturverz. S. [308] - 318},
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Stuttgart
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