author = { Buhrdorf, Andreas },

title = { Kapazitive mikromechanische 1D- und 2D-Ultraschallwandlerarrays für bildverarbeitende Systeme },

publisher = {Logos Verl.},

isbn = {3832510257},

keywords = { Hochschulschrift , Ultraschallwandler , Technische Membran , Siliciumhalbleiter , Produktentwicklung },

year = {2005},

address = { Berlin },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }